Nanofabrication Facility

Die Nanofabrication Facility verfügt über einen Reinraum mit 450 m² Fläche und ISO 7 (Klasse 10000), ISO 6 (Klasse 1000) und ISO 5 (Klasse 100) Bereichen, die mit der modernsten Nanofabrikationstechnologie ausgestattet sind.

Im Allgemeinen bietet die Nanofabrication Facility ForscherInnen und Studierenden Werkzeuge an, die sie bei ihrer Forschung unterstützen. Darüber hinaus entwickelt, optimiert und wartet sie Mikro- und Nanofabrikationsprozesse.


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Leistungen

Die Nanofabrication Facility bietet …

  • einen Reinraum auf dem neuesten Stand der Technik für die Mikro- und Nanofabrikationsverarbeitung
  • spezialisiertes Personal, das die Verfügbarkeit von Verarbeitungsanlagen und die Entwicklung neuer Verarbeitungsverfahren gewährleistet
  • Schulung und Verfügbarkeit für alle BenutzerInnen
      

Beschreibung der Reinräume am IST Austria

Der Reinraum ist in zwei Einheiten unterteilt, die sich im Erdgeschoss und im Untergeschoss des Lab and Office Building West (I21) am IST Austria befinden.

Erdgeschoss

Der Hauptteil des Reinraums ist im Erdgeschoss untergebracht und ist in folgende Bereiche unterteilt:

  • Fotolithografie (20 m²)
  • Nasschemie (25 m²)
  • Deposition (24 m²)
  • Deposition (25 m²)
  • Charakterisierung (26 m²
  • PDMS-Fertigung (17 m²)
  • Werkzeuge (18 m²)
  • Reinraumflur (57 m²)
  • Graue Zone (130 m²)

Untergeschoss

Der Reinraum in diesem Stock erstreckt sich über 70 m² (mit möglicher Erweiterung auf bis zu 120 m²). Er bietet die besten Voraussetzungen für wenig Vibrationsrauschen und elektromagnetisches Rauschen sowie Temperaturstabilität. Diese Einheit unterteilt sich in die folgenden Bereiche:

  • Elektronenstrahl-Lithografie (21 m²)
  • Rasterelektronenmikroskop (14 m²)
  • Charakterisierung 1 (10 m²)
  • Charakterisierung 2 (11 m²)
  • Reinraumflur   (20 m²)
  • Graue Zone (25 m²)

Kleines Labor

Dort befinden sich zusätzliche Räume für Geräte zur Charakterisierung und zur Bond-Erstellung, die im Reinraum nicht zugeordnet werden können.

  • Erdgeschoss (18 m²)
  • 2. Stock (20 m²)

Ausstattung


MitarbeiterInnen


Kontakt

Institute of Science and Technology Austria
c/o Nanofabrication Facility
Am Campus 1, A-3400 Klosterneuburg, Austria

Büro: Lab and Office Building West, Erdgeschoss

Wissenschaftlicher Leiter der Nanofabrication Facility:
Georgios Katsaros

Kontakt für Fragen zur Facility: nff@ist.ac.at

Manager:



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